2019-12-10 11:48:07 0
深圳沃飛科技有限公司成立于2011年，公司注冊資金2180萬，是一家專業(yè)從事氣體應用系統工程：電子特氣管道系統、實驗室管道供氣系統、工業(yè)集中供氣系統、大宗氣體（液體）系統、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統，提供從技術咨詢、整體規(guī)劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測等全套工程技術服務和配套產品銷售于一體的高新技術企業(yè)； 榮獲“國家高新技術企業(yè)”認定并取得證書。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標準檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案。
大宗特氣系統（BSGS）作為半導體生產過程中必不可少的系統，高純氣體系統直接影響全廠生產的運行和產品的質量。相比較而 言，集成電路芯片制造廠由于工藝技術難度更高、生產過程更為復雜，因而所需的氣體種類更多、品質要求更高、用量更大，也就更具代表性。，此系統是在氣柜基礎上開發(fā)的，可以持續(xù)進行超大流量不間斷供應的特氣供應系統.
大宗特氣系統(BSGS)的應用受益于污染控制的進步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續(xù)性，降低了屢次充裝的污染風險，其次在氣站建設時候做好每個獨立單元模塊的功能架構，使得大宗氣體也可以保持最高的純度。另外，液態(tài)氣體使用前的預熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。
大宗特氣供應系統（BSGS）采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。
特種氣體采用獨立氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用獨立的氣體房，獨立的抽風系統除了簡單的供氣系統以外，特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設，其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。
常規(guī)供氣系統一般也采用多種氣瓶柜共設在一個氣體室；而對于大宗特氣，會根據氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風，氣體房的選擇和設計一般由設計院完成。
大宗特氣供應系統（BSGS）主要適用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工廠特氣的集中供氣，本文重點以集成電路芯片制造廠為背景來闡述。
大宗特氣供氣系統的設計
首先必須根據工廠所需用氣量的情況，選擇最合理和經濟的供氣方式。 氮氣的用量往往是很大的，根據其用量的不同，可考慮采用以下幾種方式供氣：
1)、液氮儲罐，用槽車定期進行充灌，高壓的液態(tài)氣體經蒸發(fā)器(Vaporizer)蒸發(fā)為氣態(tài)后，供工廠使用。一般的半導體工廠用氣量適中時這種方式較為合適，這也是目前采用最多的一種方式。
2)、采用空分裝置現場制氮。這適用于N2用量很大的場合。集成電路芯片制造廠多采用此方式供氣，而且還同時設置液氮儲罐作備用，氧氣和氬氣往往采用超低溫液氧儲罐配以蒸發(fā)器的方式供應， 氫氣則以氣態(tài)方式供應，一般采用鋼瓶組(Bundle)即可滿足生產要求。
如用氣量較大，則可采用Tube Trailer供氣，只是由于道路消防安全審批等因素，目前在國內還很少采用此方式。相信隨著我國微電子工業(yè)的飛速發(fā)展，相關的安全法規(guī)會更完善，Tube Trailer供氣方式會被更多地采用。如果氫氣用量相當大，則需要現場制氫，如采用水電解裝置.
由于低溫液氦儲罐的成本相當昂貴，加以氦氣用量不大，氦氣一般采用鋼瓶組(Bundle)的形式供應即可滿足生產要求。隨著大型集成電路廠越來越多地出現，氦氣的用量也逐漸上升，國外已開始嘗試使用液氦儲罐，而且由于氦氣在低于-4500F時才是液體，此時所有雜質在此液相中實際均已凝結在固體，理論上從該儲罐氣化的氮氣已是高純度，不用再經純化處理。
隨著國內半導體集成電路產業(yè)的飛速發(fā)展，將會出現一些半導體工廠較為密集的微電子生產園區(qū)，這時有可能采用集中的管道供氣方式，即由氣體公司在園區(qū)內建一大型氣站，將大宗氣體用地下管線送往各工廠。這種方式可以大大降低各廠的用地需求和用氣成本，形成氣體公司與半導體工廠多贏的局面。
